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            產品中心

            ATL Lasertechnik準分子激光器ATLEX-500-I

            852 閱讀
            產品介紹

            軟電暈預電離

            高壓固態脈沖發生器

            激光頭體積<3l

            TMC(全金屬陶瓷)容器

            集成真空泵和鹵素過濾器

            風冷/可選液冷,主動熱管理

            RS-485,RS232,USB和光纖接口,用于系統集成

            可沖洗光學支架

            能量穩定模式

            新一代緊湊型風冷,高重復頻率的準分子激光器,專為中低占空比應用而設計。

            產品參數

            氣體介質

            F2

            ArF

            KrF

            XeCl

            XeF

            波長 nm

            157

            193

            248

            308

            351

            高壓開關技術

            固態開關

            重復率max. Hz

            1

            10

            15

            8

            7

            脈沖能量max. mJ

            0.5

            4.0

            6.5

            3.0

            2.5

            平均功率max. W

            500

            脈沖持續時間 ns

            5-8

            光束尺寸(V x H) mm

            4 x 6

            光束發散角(V x H)mrad

            1 x 2

            能量穩定性(標準偏差)%

            < 3

            尺寸(長x寬x高)mm

            540 x 470 x 370

            重量 kg

            60

            冷卻

            冷卻空氣/可選液體

            電源要求

            230 VAC / 6,3 A / 1相/ 50-60 Hz

             

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