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            aixACCT雙光束激光干涉儀aixDBLI

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            • 品牌名稱:aixACCT
            • 規格型號:aixDBLI
            產品介紹

            機電大信號應變和極化測量。

            壓電小信號系數和介電常數與直流偏置電壓的關系。如果已知剛度值,則可以使用附加的aixPlorer軟件工具從這些值得出耦合系數。

            電氣和機電性能疲勞。

            作為電氣薄膜測試的創新者,aixACCT Systems已將公認的雙光束技術擴展到可商用的雙光束激光干涉儀系統,該系統可進行長達8英寸的晶圓表征。用于測量d33的雙光束激光干涉儀(aixDBLI)可提供經過驗證的精度(x切割石英),可達0.2 pm / V。該系統的主要特點是單次測量的采集時間極短,僅為幾秒鐘?;谛碌臄祿杉惴?,測量速度提高了100倍。這使得比較了以相同激勵頻率記錄的薄膜的電氣和機械數據。由于差分測量原理,消除了樣品彎曲的影響,這是使用原子力顯微鏡(AFM)進行此類測量的主要障礙。

            產品參數

            分辨率:1 pm通過x-cut Quartz測試

            位移/應變測量:

            50 Hz-5 kHz

            100 mV至10 V

            Max.25 V(可選)

            壓電d33系數:

            偏壓(1 mHz至1 Hz):100 mV至10 V

            Max.25 V(可選)

            小信號(1 kHz至10 kHz):100 mV至10 V

            電致伸縮M33:與d33相似

            C(V)測量:

            偏壓(1 mHz至1 Hz):100 mV至10 V

            Max.25 V(可選)

            小信號(1 kHz至10 kHz):100 mV至10 V

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